產品與技術

Pioneer of Innovation

Non-Display 技術

群創MEMS技術

群創光電以累積雄厚的TFT LCD產業能量,加速進軍非顯示器領域的決心與速度,致力於研發MEMS製程與TFT驅動技術整合的新型傳感器。

MEMS原理

MEMS傳感器主要是透過MEMS製作在CMOS晶圓上,並透過電路驅動MEMS或處理MEMS產生訊號。而MEMS on glass技術是將MEMS on CMOS需要大面積的區域(感測區)、驅動電路與多工器使用TFT電路設計與製程技術實現,透過印刷軟板連結IC與系統,實現MEMS on glass。

MEMS製程

主要可以分為
(1) Bulk micro-machining
(2) Surface micro-machining
MEMS (micro electro mechanical systems)可感測物理變化量,並轉換成電訊號,或者藉由控制電訊號產生物理變化之技術。前者應用稱為感測器如速度感測器、陀螺儀、麥克風、壓力感測器,及紅外線感測器等,後者稱為致動器如印刷噴墨頭、數位微型反射鏡及MEMS揚聲器等。