产品与技术

Pioneer of Innovation

Non-Display 技术

群创MEMS技术

群创光电以累积雄厚的TFT LCD产业能量,加速进军非显示器领域的决心与速度,致力于研发MEMS制程与TFT驱动技术整合的新型传感器。

MEMS原理

MEMS传感器主要是透过MEMS制作在CMOS晶圆上,并透过电路驱动MEMS或处理MEMS产生讯号。而MEMS on glass技术是将MEMS on CMOS需要大面积的区域(感测区)、驱动电路与多工器使用TFT电路设计与制程技术实现,透过印刷软板连结IC与系统,实现MEMS on glass。

MEMS制程

主要可以分为
(1) Bulk micro-machining
(2) Surface micro-machining
MEMS (micro electro mechanical systems)可感测物理变化量,并转换成电讯号,或者借由控制电讯号产生物理变化之技术。前者应用称为感测器如速度感测器、陀螺仪、麦克风、压力感测器,及红外线感测器等,后者称为致动器如印刷喷墨头、数位微型反射镜及MEMS扬声器等。